压力感测器

什么是压力感测器

压力感测器其透过膜片（包含硅膜片等）以感压元件测量气体及液体的压力后，转换为电气讯号输出动作。

原理

半导体压电阻抗扩散压力感测器的膜片表面由半导体应变计构成，当外力（压力）使膜片变形发生压阻效应，进而使电阻变化时，感测器会将电阻的变化转换为电子讯号。

静电容量型压力感测器其电容器是将玻璃材料的固定极与硅材料的可动极对向设置后所构成。当外力（压力）使可动极变形，静电容量发生变化时，感测器会将静电容量变化转换为电子讯号。